抛光液又称化学机械研磨液
，，，，由纳米级研磨颗粒和高纯化学品组成
，，，，是化学机械抛光工艺历程中使用的主要化学质料。。。。。。

抛光液在CMP手艺中至关主要
，，，，在抛光质料中价值占比约50%
，，，，其耗用量随着晶圆产量和CMP平展化工艺办法数增添而增添。。。。。。

凭证应用的差别工艺环节
，，，，可以将抛光液分为硅/多晶硅抛光液
，，，，浅槽隔离（STI）抛光液
，，，，金属栅极抛光液
，，，，介电质料（二氧化硅、氮化硅）抛光液
，，，，钨抛光液
，，，，铜及铜阻挡层抛光液
，，，，以及用于三维集成的硅通孔（TSV）和混淆键合抛光液等。。。。。。

抛光液特点为种类繁多
，，，，纵然是统一手艺节点凭证差别客户的工艺手艺要求也有差别配方
，，，，其主要质料包括纳米磨料、种种添加剂和超纯水。。。。。。其中
，，，，纳米磨料是决议抛光液性能的要害质料
，，，，主要包括硅溶胶和氧化铈等品类
，，，，约占抛光液价值的三分之一。。。。。。

得益于整个半导体行业及半导体质料的迅速增添
，，，，全球抛光液市场泛起快速增添态势。。。。。。2021年全球抛光液市场规模18.9亿美元
，，，，同比增添13%
，，，，其中铜抛光液、钨抛光液和氧化物抛光液的市场规模占比最大
，，，，而钴抛光液和多晶硅抛光液则成为增添最快的抛光液品类。。。。。。

近年中国抛光液市场增速显著高于全球市场
，，，，2025年海内抛光液市场有望占全球市场的25%
，，，，达40亿元
，，，，2022-2025年中国抛光液复合增添率达15%。。。。。。

内容节选自新宝GG宣布的《中国抛光液行业市场调研与投资战略报告（2023版）》
，，，，若有需求
，，，，联系新宝GG010-67280121